Pt-датчики температуры
Тонкопленочные платиновые датчики температуры представляют собой микроскопический вариант проволочного (намотанного) исполнения. Проволока определенной длины и диаметра здесь представляет собой тонкопленочный меандр, нанесенный на подложку. Способ изготовления тонкопленочных платиновых датчиков температуры практически полностью автоматизирован и обеспечивается применением современных высоких технологий, которые применяются, например, для изготовления кремниевых микросхем.
Pt-микро-нагреватель (основа анемометра)
Платиновые тонкопленочные микронагреватели применяются в автомобильной промышленности, например, для анемометров с пленочным подогревом, для кондиционеров различных типов, а также в медицинской промышленности и аналитических приборах. Микронагреватели имеют такие свойства, как короткое время срабатывания, высокая температура применения и стабильность в эксплуатации.
Pt-сенсорные платформы
Мульти-сенсорная платформа спроектирована как обогреваемый датчик. С помощью нагревателя и датчика температуры с соответствующим управлением можно держать сенсор при постоянной температуре или подвергать его контролируемому температурному циклу. Конструктивно он представляет собой керамическую подложку с нанесенным слоем платиновой пленки, структурированной на участки, являющиеся нагревателем и датчиком температуры, которые изолированы стеклянным слоем. На стеклянный слой нанесен тонкий слой золотого электрода, к которому микросваркой, напылением или другими способами присоединяется измеряющий компонент-датчик. Размеры электрода обеспечивают удобное нанесение различных чувствительных слоев, например Si-датчика. Для токоподводящих проводов применяются никелевые, позолоченные ленты до 170 мм длиной. Ленточные токоподводящие провода обеспечивают стабильность монтажа, по сравнению с проводами круглого сечения.
Впрочем: мульти-сенсорные платформы разрабатывается преимущественно по заданию клиентов!
Общие сведения
На первом этапе производственного процесса изготовления тонкопленочного чувствительного элемента на идеально плоскую поверхность подложки из Al2O3 напыляют точно легированную платину в высоком вакууме. Затем происходит фотолитографическое перенесение чрезвычайно тонкой структуры меандра на платину в условиях особо чистых помещений (до класса 1000). Последующим травлением платины создаются сенсорные элементы, которые далее перерабатывается в датчики различного исполнения.
